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平板顯示

平板顯示 - 氣體過濾的解決方案

在微電子的平板顯示器制造中，由于其市場競爭激烈，技術創新的多樣化，顯示器的分辨率逐步上升。

而更高分辨率的顯示器意味著更新的制造技術以及更具成本的生產工藝。涉及到環境空氣，工藝制程氣以及液體制程的污染控制要求比以往更高。

高等級制程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水平。在關鍵工藝步驟中，大面積面板上積累灰塵顆粒的可能性非常高，所以需要的送風量和循環風量很大，來提高空氣潔凈度，從而控制產品質量。

在平板顯示的制造中，空氣過濾器的選擇主要以高效/超高效作為過濾器的末端過濾，結合中效初效過濾器以保證空氣過濾的整體循環。

在產品選擇上，主要以大風量高容塵的袋式，無隔板過濾器為主。